真空炉为卧式、单室结构，其炉体炉门采用双层水冷，前后开门结构。

由炉体、加热室、真空系统、充气系统、水冷系统、电控及供电系统组成。

 1 、 炉体：本炉整体结构由炉壳、炉门、炉门锁紧机构、炉体支架等组成，炉壳、炉门为双层夹套冷壁结构。炉体部分由炉筒和炉门构成，炉筒和炉门内壁以及外壁材料为 304不锈钢，。炉门采用双层椭圆封头与圆形法兰焊接而成，法兰上装有 O 形密封圈。工件可由下炉门打开装入和取出，中部设置加热室主体及电极和主真空泵的抽气口。

 2 、加热室：加热室圆形加热室，由加热元件、隔热屏、料台组成。加热元件采用高温钼加热，采用特殊设计的陶瓷（95 陶瓷）件绝缘，可最大程度避免由于焊接挥发导致的短路；加热区可单独拆卸，损坏时更换方便。加热电源通过铜软线、铜牌、铜电极与发热元件相连。电路与炉体绝缘性能良好，便于拆卸清理更换。

3、  真空系统：真空系统来实现对炉体的真空泵抽气。在各个阀门和管道都有真空规管座，并在各管路段设置有真空检测装置，便于各段真空测量。

4、 电控系统：

4.1 由触摸屏、可编程序控制器、晶闸管调压器、真空计及记录仪等组成，以实现供电、控制、记录、监视、报警保护功能。

4.2 可编程控制器 PLC 采用西门子系列，控温采用日本导电的控温仪，可精确控制温度。同时，PLC 全面控制设备的运行，根据工艺要求，提供顺序控制信号，同时采集现场的反馈信号，提供转换、连锁、指示及报警信号。除装卸料外，全过程可自动进行，并备有手动操作系统。

4.3 测温为热电偶,用于随机检测炉内温度和炉内温度均匀性。

4.4 真空测量采用真空变送器，多点输出控制，用于过程自动控制和记录。

4.5 设备控制界面采用触摸屏控制系统，通过与 PLC 的通讯，可设定及记录温度、及真空度曲线，便于工艺的制定和查询。并可实时显示设备运行状态。

4.6 具有超温、断水安全保护功能，并有声光报警系统，炉体上设有安全阀装置，有气压、真空度、水压、加热等互锁电路。

4.7 加热电源采用单相可控硅电源，低电压、大电流方式供电。

4.8 控制柜内有风扇冷却系统。

5 5 、水冷系统：真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极、换热系统需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位，采用闭式水循环系统，冷却管路并配备水压报警系统。进水有分支接到自来水管道上，以备停电时紧急使用。进回水管道均采用不锈钢管道。

6 6 、安全系统：安全系统包括 停水、超温、加热过流、旋片泵、罗茨泵、设备具有自检、故障自诊断、自动保护、防止误操作等功能。并具有声光报警提示和具备相应的联锁、互锁保护。